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广州半导体材料研究所创办于1966年，位于广州市天河区东莞庄路，占地面积2万5千平方米。建所以来，主要研究超纯硅多晶、高阻硅单晶、大规模集成电路级硅单晶片工艺技术及测试方法、测试仪器、电力电子元器件。 [详细介绍]
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